檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "designer".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="雙導通孔"
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導通孔在奈米半導體製程中仍然是影響良率的主要原因之一。在積體電路的設計，增加冗餘導通孔(redundant via)是用來解決導通孔失效典型的方法，藉此可同時提高其良率與可靠性。在以元件單位為基礎(…
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隨著半導體製程進入到奈米層級，雖然製程技術不斷的進步，但導通孔成型過程瑕疵的問題仍然是影響良率的主要因素之一。為了解決導通孔瑕疵的問題，增加冗餘導通孔是個典型的方法，用以提高晶圓的良率與可靠性。一般…
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定向自組裝 (directed self-assembly technology) 的技術在10 奈米以 下的導通孔 (contact/via) 的製造上展現了其優勢，為了讓導通孔有 足夠的重疊精度…